光刻機霸主ASML（阿斯麥）已經開始出貨新品Twinscan NXT:2000i DUV（NXT:2000i雙工件臺深紫外光刻機），可用于7nm和5nm節點。NXT:2000i將是NXE:3400B EUV光刻機的有效補充，畢竟臺積電/GF的第一代7nm都是基于DUV工藝。
同時，NXT:2000i也成為了ASML旗下套刻精度（overlay）最高的產品，達到了和3400B一樣的1.9nm（5nm要求執照2.4nm，7nm要求至少3.5nm）。
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